www.wikidata.uk-ua.nina.az
Va kuum 1 abo porozhnya 2 angl vacuum nim Vakuum vid lat vacuus porozhnij bagatoznachnij fizichnij termin yakij u zalezhnosti vid kontekstu mozhe oznachati nastupne rozridzhenij stan gazu tisk yakogo menshij za atmosfernij 3 Takij vakuum she nazivayut chastkovim idealizovanu abstrakciyu prostir u yakomu zovsim nemaye rechovini Takij vakuum nazivayetsya idealnim fizichnu sistemu bez chastinok i kvantiv polya Ce najnizhchij stan kvantovoyi sistemi pri yakomu yiyi energiya ye minimalnoyu ce nazivayut vakuumnim stanom Zgidno z principom neviznachenosti dlya takogo vakuumu pevna chastina fizichnih velichin ne mozhe buti tochno viznachenoyu Sklyana posudina iz nasosom dlya demonstraciyi vakuumuTorrichelli pid chas doslidzhen z vikoristannyam rtutnogo barometraKompresijnij manometr Mak Leoda Z vinahodom lamp rozzharennya ta elektrovakuumnih lamp na pochatku XX stolittya chastkovij vakuum stav shiroko vikoristovuvatisya v promislovosti U vakuumi provoditsya znachna kilkist fizichnih eksperimentiv vidsutnist povitrya chi atmosferi inshogo skladu dozvolyaye nejtralizuvati nebazhanij storonnij vpliv na ob yekt doslidzhennya Interes do vivchennya vakuumu neabiyak zris pislya vihodu lyudini v kosmos Navkolozemnij ta mizhplanetnij prostori ye duzhe rozridzhenim gazom yakij mozhna harakterizuvati yak vakuum Zmist 1 Istoriya 2 Vakuum i tisk gazu 3 Tehnichnij vakuum 3 1 Vimiryuvannya vakuumu 3 2 Vakuumna tehnika 3 3 Vakuumna tehnologiya 4 Fizichnij vakuum 5 Div takozh 6 Primitki 7 DzherelaIstoriya RedaguvatiDoslidzhennya vakuumu rozpochalisya zi stvorennya torichelevoyi porozhnechi italijskim fizikom Evandzhelista Torrichelli v seredini 17 stolittya Dlya otrimannya bezpovitryanogo prostoru Torrichelli zapovniv rtuttyu tonku sklyannu trubku iz zapayanim kincem a potim opustiv trubku vidkritim kincem uniz v posudinu kudi mogla vitekti rtut Yak naslidok vitikannya chastini rtuti z trubki rtut u trubci opustilasya a nad neyu utvorivsya porozhnij prostir Zaproponovanij Torrichelli princip vikoristovuyetsya u rtutnih barometrah oskilki riven rtuti v trubci zalishayetsya takim shob zrivnovazhiti atmosfernij tisk Doslidi Torrichelli zaperechili nepravilne tverdzhennya Aristotelya pro te sho priroda boyitsya porozhnechi lat horror vacui Odnak prihilniki ideyi Aristotelya u svoyu chergu zaperechuvali sho mabut prostir nad rtuttyu zapovnenij yakoyus nevidimoyu rechovinoyu U vidpovid na ci zaperechennya Blez Paskal prodemonstruvav sho riven rtuti zminyuyetsya z visotoyu Pershij vakuumnij nasos porshnevij cilindr z vodyanim zashilnennyam vinajshov u 1654 Otto fon Gerike Cej nasos dozvoliv legko vidkachuvati povitrya z germetichnih yemkostej ta eksperimentuvati z vakuumom 4 Nasos yakij avtor nazvav lat antlia pneumatica buv dalekim vid doskonalosti odnak z jogo dopomogoyu Gerike zumiv prodemonstruvati osnovni vlastivosti vakuumu Same za dopomogoyu cogo nasosa provedeno bulo znamenitij doslid z Magdeburzkimi pivkulyami Gerike stvoriv takozh vodyanij barometr analogichnij do rtutnogo barometra Torrichelli hocha cherez menshu gustinu vodi u porivnyanni z rtuttyu visota vodyanogo stovpa sho zrivnovazhuye tisk atmosferi bula v 13 6 raziv bilshoyu blizko 10 metriv Gerike vpershe z yasuvav sho vakuum ne provodit zvuku i sho gorinnya u nomu pripinyayetsya 5 U 1850 Avgust Tepler vinajshov rtutno porshnevij nasos 6 u 1855 Genrih Gajsler otrimav za dopomogoyu rtutnogo nasosa tisk 0 01 torr a u 1865 Germann Shprengel en stvoriv nasos nazvanij jogo imenem 7 Udoskonalennya konstrukciyi nasosiv u seredini 19 st vidkrilo shlyah do stvorennya vakuumnih lamp U 1884 roci italiyec A Malinyani vpershe zastosuvav u virobnictvi lamp rozzharennya zv yazuvannya zalishkovih gaziv paroyu fosforu i tim samim poklav pochatok zastosuvannyu poglinachiv tak zvanih geteriv 8 U 1905 roci molodij nimeckij fizik Volfgang Gede robit vinahid obertovogo rtutnogo vakuumnogo nasosa U 1906 roci Dzhejms Dyuar rozrobiv sposib otrimannya vakuumu shlyahom poglinannya gaziv aktivovanim vugillyam yake oholodzhuvalos ridkim azotom kriosorbcijnij nasos Dali z yavlyayutsya molekulyarnij V Gede 1912 ta difuzijnij nasosi V Gede 1913 9 Paralelno z rozrobkoyu vakuumnih nasosiv stvoryuvalas tehnika vimiryuvannya nizkogo tisku Uzhe v 1874 roci G Mak Leodom bulo rozrobleno kompresijnij manometr yakij suttyevo rozshiryuvav nizhnyu mezhu vimiryuvannya tisku ridinnimi manometrami Dali u 1909 r M Pirani stvoryuye teplovij a u 1916 r O Bakli ionizacijnij manometri Vakuum i tisk gazu RedaguvatiVlastivosti gaziv pri nizkomu tisku vivchayutsya u fizici vakuumu sho ye rozdilom molekulyarno kinetichnoyi teoriyi MKT gaziv Osnovoyu fiziki vakuumu ye taki postulati gaz skladayetsya z okremih ruhomih molekul isnuye postijnij rozpodil molekul gazu za shvidkostyami tobto odnu i tu zh shvidkist maye zavzhdi odnakova kilkist molekul pri rusi molekul gazu nemaye perevazhnih napryamkiv tobto prostir gazovih molekul ye izotropnim temperatura gazu ye velichinoyu proporcijnoyu do serednoyi kinetichnoyi energiyi jogo molekul pri vzayemodiyi z poverhneyu tverdogo tila molekula gazu adsorbuyetsya U vipadku rivnovagi mizh poverhneyu i gazovim seredovishem kozhnij adsorbovanij molekuli vidpovidaye odna desorbovana molekula z protilezhnim napryamkom vektora shvidkosti Pri tiskah blizkih do atmosfernogo koristuyutsya kilkisnim viznachennyam vakuumu yak riznici atmosfernogo i absolyutnogo tiskiv Pri absolyutnomu tisku sho vidriznyayetsya vid atmosfernogo bilshe nizh na dva poryadki cya riznicya zalishayetsya praktichno postijnoyu i ne mozhe sluzhiti kilkisnoyu harakteristikoyu rozridzhenogo gazu Za cih umov vakuum kilkisno viznachayut absolyutnim tiskom gazu Pri duzhe malih tiskah yaki bezposeredno vzhe ne mozhut buti vimiryani isnuyuchimi priladami stan gazu mozhna harakterizuvati lishe kilkistyu molekul v odinici ob yemu tobto molekulyarnoyu koncentraciyeyu gazu Na osnovi postulativ MKT dovedeno sho tisk idealnogo gazu pri postijnij temperaturi na poverhnyu tverdogo tila za umov rivnovagi mizh sorbciyeyu i desorbciyeyu molekul proporcijnij do gustini r gazu i kvadratu shvidkosti V jogo molekul odna z form zapisu osnovnogo rivnyannya MKT p 1 3 r V 2 displaystyle p frac 1 3 rho V 2 nbsp Zgadani umovi rivnovagi vikoristani pri vivedenni rivnyannya ne zavzhdi vikonuyutsya Prikladom ye kondensuyucha poverhnya z yakoyi protyagom trivalogo chasu perebigu adsorbciyi ne vidbuvayetsya desorbciyi molekul gazu Tilo sho viletilo v kosmichnij prostir iz zemnoyi atmosferi v osnovnomu desorbuye iz svoyeyi poverhni molekuli gazu Kilkistyu zh molekul sho vdaryayutsya ob poverhnyu cogo tila mozhna znehtuvati Dlya tochnogo rozrahunku tisku gazu na poverhni tverdogo tila potribno znati spivvidnoshennya potokiv molekul spryamovanih do i vid poverhni tila Tehnichnij vakuum RedaguvatiTehnichnim nazivayut chastkovij vakuum stvorenij u zemnih umovah Miroyu stupenya rozridzhennya vakuumu sluzhit spivvidnoshennya dovzhini vilnogo probigu molekul gazu l displaystyle lambda nbsp sho ye harakteristikoyu intensivnosti yihnih vzayemnih zitknen u gazi ta harakternogo linijnogo rozmiru d displaystyle d nbsp posudini u yakij gaz perebuvaye Rozriznyayut visokij serednij i nizkij vakuum visokij vakuum vakuum pri yakomu dovzhina vilnogo probigu molekul gazu perevishuye linijni rozmiri posudini v yakij mistitsya gaz l d displaystyle lambda gg d nbsp serednij vakuum vakuum u yakomu dovzhina vilnogo probigu molekul gazu i linijni rozmiri posudini ye sumirnimi velichinami l d displaystyle lambda simeq d nbsp nizkij vakuum yaksho vilnij probig molekul gazu menshij za linijni rozmiri posudini l d displaystyle lambda ll d nbsp Visokij vakuum v mikroskopichnih porah deyakih kristaliv dosyagayetsya vzhe pri atmosfernomu tisku oskilki diametr pori ye nabagato menshim za dovzhinu vilnogo probigu molekuli Na praktici yakist vakuumu ocinyuyetsya po zalishkovomu tisku Visokij vakuum vidpovidaye tisku nizhchomu za 10 3 mm rt st torr Maksimalno visokij vakuum yakogo mozhna dosyagti v suchasnih laboratoriyah maye tisk 10 13 mm rt st Dlya porivnyannya tisk u kosmosi ye na dekilka poryadkiv nizhchim a u dalekomu zh kosmosi vzagali mozhe syagati 10 16 mm rt st i menshe vidpovidaye koncentraciyi 1 molekula na 1 sm 10 Vimiryuvannya vakuumu Redaguvati Vakuum za velichinoyu podilyayetsya na diapazoni vidpovidno do tehnologij neobhidnih dlya jogo dosyagnennya chi vimiryuvannya Ci diapazoni ne mayut zagalnoviznanih viznachen a tipovij rozpodil maye takij viglyad 11 12 Tisk mm rt st Tisk Pa Atmosfernij tisk 760 1 013 10 5Nizkij vakuum vid 760 do 25 vid 1 10 5 do 3 10 3Serednij vakuum vid 25 do 1 10 3 vid 3 10 3 do 1 10 1Visokij vakuum vid 1 10 3 do 1 10 9 vid 1 10 1 do 1 10 7Nadvisokij vakuum vid 1 10 9 do 1 10 12 vid 1 10 7 do 1 10 10Ekstremalnij vakuum lt 1 10 12 lt 1 10 10Kosmichnij prostir vid 1 10 6 do lt 3 10 17 vid 1 10 4 do lt 3 10 15Absolyutnij vakuum 0 0Prilad dlya vimiryuvannya vakuumu nosit nazvu vakuummetr 13 vakuum manometr elektroporozhnyavomi r 14 Vakuummetri vikoristovuyutsya dlya vimiryuvannya tiskiv v diapazoni vid 760 do 10 13 mm rt st 105 10 11 Pa Universalnogo metodu vimiryuvan sho ohoplyuye ves cej diapazon ne isnuye tomu vikoristovuyutsya riznomanitni fizichni zakonomirnosti pov yazani pryamo chi oposeredkovano z tiskom gazu Dokladnishe Vakuummetr nbsp Turbomolekulyarnij nasos dlya stvorennya visokogo vakuumu nbsp Veletenska vakuumna kamera dlya viprobuvan kosmichnih komandnih moduliv v umovah vakuumuVakuumna tehnika Redaguvati Dokladnishe Vakuumna tehnikaVakuumna tehnika tehnichni sistemi ta elementi dlya oderzhannya i pidtrimuvannya vakuumu prikladna nauka pro nih tehnika zdijsnennya vakuumnih vimiryuvan a takozh rozroblennya konstruyuvannya i zastosuvannya vakuumnih pristroyiv 3 Chilne misce sered znaryad vakuumnoyi tehniki zajmayut vakuumni nasosi riznomanitnoyi konstrukciyi i principu diyi Osnovnim instrumentom dlya stvorennya nizkogo vakuumu ye ob yemnij nasos Princip jogo diyi polyagaye u ciklichnomu zbilshenni ta zmenshenni ob yemu gazu v posudini Pid chas fazi zbilshennya ob yemu vsmoktuvannya gaz u posudini rozshiryuyetsya zapovnyuyuchi dodatkovij ob yem yakij potim vidsikayetsya i vikidayetsya Stvorennya visokogo i nadvisokogo vakuumu ye skladnoyu tehnichnoyu problemoyu Koli molekul gazu u vakuumnij kameri malo vinikayut problemi pov yazani iz zabrudnennyam kameri molekulami mastila nedostatnoyi shilnosti prokladok degazaciyi stinok posudini tosho Dlya otrimannya visokogo vakuumu vikoristovuyut difuzijni nasosi Princip diyi nasosiv cogo tipu gruntuyetsya na tomu sho molekuli gazu ne difunduyut proti techiyi Tomu difuzijni nasosi vikoristovuyut strumin dlya vityaguvannya molekul gazu z vakuumnoyi kameri Tiski sho zabezpechuyutsya difuzijnimi nasosami stanovlyat 2 10 6 3 10 7 mm rt st Difuzijni nasosi u bagatoh zastosuvannyah postupayutsya miscem turbomolekulyarnim nasosam princip roboti yakih bazuyetsya na nadanni molekulam gazu sho vidkachuyetsya dodatkovoyi shvidkosti u napryami yih ruhu visokoshvidkisnim obertovim rotorom Rotor skladayetsya z sistemi diskiv Vakuum sho otrimuyetsya dosyagaye velichin poryadku 10 10 mm rt st Nasosi ulovlyuvachi dozvolyayut dosyagti she vishogo vakuumu Yihnya diya mozhe bazuvatisya na riznih fizichnih ta himichnih principah kriogenni nasosi vikoristovuyut nizku temperaturu dlya kondensaciyi gazu v posudini u himichnih nasosah molekuli gazu zv yazuyutsya himichnimi rechovinami abo adsorbuyut na poverhni v ionizacijnih nasosah gaz u vakuumnij kameri jonizuyetsya i vityagayetsya za dopomogoyu silnih elektrichnih poliv Realni vakuumni ustanovki skladayutsya iz kombinaciyi nasosiv riznogo tipu kozhen iz yakih vikonuye svoye zavdannya i pracyuye pri riznomu stupeni rozridzhennya gazu u vakuumnij kameri Do instrumentiv vakuumnoyi tehniki nalezhat takozh riznomanitni vimiryuvalni priladi sho vikoristovuyutsya dlya viznachennya yakosti stvorenogo vakuumu Vakuumna tehnologiya Redaguvati nbsp Vakuumna obrobka rozplavu metalu z metoyu degazaciyiVakuumna tehnologiya ponyattya sho zastosovuyetsya do vsih procesiv i fizichnih vimiryuvan sho provodyatsya u seredovishi gazu yakij perebuvaye v umovah tisku nizhchogo za atmosfernij Ci procesi mozhut provoditis u vakuumi z takih prichin Vidalennya bezposerednih skladovih seredovisha sho mozhut sprichinyati fizichnu chi himichnu reakciyu protyagom procesu napriklad okisnennya vakuumni lampi rozzharennya vakuumna metalurgiya tosho Porushennya rivnovazhnogo stanu sho isnuye za normalnih umov vidalennya adsorbovanogo chi rozchinenogo gazu abo letkoyi ridini z ob yemu rechovini napriklad degazaciya olij sushinnya sublimaciyeyu desorbuvannya gazu z poverhon napriklad ochishennya konstrukcijnih elementiv elektrovakuumnih priladiv elektrovakuumnih lamp elektronno promenevih trubok tosho i vakuumnogo ustatkuvannya linijnih priskoryuvachiv nasosiv tosho Zbilshennya vidstani na yaku materialna chastinka povinna peremistitis persh nizh vona zishtovhnetsya z inshoyu sho privede do mozhlivosti ruhu chastinok bez zitknen na shlyahu vid dzherela do adresata prijmacha napriklad pri vigotovlenni zahisnih poglinalnih chi vidbivnih pokrittiv priskoryuvachah chastinok prosvitlenni optiki tosho Zmenshennya chisla molekulyarnih zitknen z poverhnyami za tehnologichnij chas pri formuvanni monosharu zavdyaki chomu zmenshuyetsya jmovirnist jogo zabrudnennya pislya ochishennya u vakuumi Krim roli tehnologichnogo seredovisha vakuum u bagatoh tehnologiyah mozhe vikoristovuvatis dlya stvorennya rozpodilenih kontrolovanih zusil napriklad u vakuumnih zahopnikah manipulyatoriv pri vakuumnomu formuvanni virobiv z plastiku pri virishenni zadach transportuvannya truboprovodami tosho V harchovij promislovosti vakuum vikoristovuyut dlya stvorennya umov dovgotrivalogo zberigannya ta konservuvannya harchovih produktiv V medicini vakuum zastosovuyut dlya zberezhennya gormoniv likuvalnih sirovatok vitaminiv pri otrimanni antibiotikiv anatomichnih ta bakteriologichnih preparativ Fizichnij vakuum RedaguvatiFizichnim vakuumom nazivayut idealizovane ponyattya prostoru v yakomu nemaye chastinok Eksperimentalno takogo stanu dosyagnuti nemozhlivo okremi atomi i joni ye navit u nadzvichajno rozridzhenomu mizhgalaktichnomu prostori Abstraktne ponyattya fizichnogo vakuumu vikoristovuyetsya napriklad dlya oznachennya shvidkosti svitla yak shvidkosti rozpovsyudzhennya elektromagnitnoyi vzayemodiyi u porozhnechi bez zhodnih chastinok Navit yakbi vdalosya viluchiti z yakoyis laboratornoyi posudini vsi chastinki prostir mizh stinkami zalishivsya b zapovnenim elektromagnitnimi hvilyami hocha bi vnaslidok teplovogo viprominyuvannya stinok posudini U kosmichnomu prostori isnuye reliktove viprominyuvannya Ne isnuye sposobu izolyuvati laboratornu ustanovku vid gravitacijnogo polya ta jogo gipotetichnih nosiyiv gravitoniv Odnak u teoretichnih pobudovah mozhna abstraguvatisya vid perelichenih faktoriv i rozglyadati vlastivosti porozhnogo prostoru Hocha mozhe sklastisya vrazhennya sho porozhnij prostir ye najprostishoyu fizichnoyu sistemoyu naspravdi ce ne tak Rozvitok kvantovoyi mehaniki pokazav sho vakuum ye skladnim fizichnim ob yektom vlastivosti yakogo she ne zovsim zrozumili Po pershe vakuum mabut zapovnenij nulovimi kolivannyami elektromagnitnogo polya Kvantami elektromagnitnogo polya ye fotoni chastinki sho nalezhat do bozoniv Hvilovi funkciyi bozoniv u najnizhchomu stani ne dorivnyuyut nulyu Pri kvantuvanni polya bozoniv voni rozglyadayutsya yak garmonichni oscilyatori V osnovnomu stani bozoni mayut ne tilki vidminnu vid nulya hvilovu funkciyu a j nenulovu energiyu Tozh vakuum zapovnenij nulovimi kolivannyami riznih mod elektromagnitnogo ta inshih bozonnih poliv z usima mozhlivimi hvilovimi vektorami napryamkami rozpovsyudzhennya ta polyarizaciyami Kozhna z cih mod maye energiyu 1 2 ℏ w displaystyle frac 1 2 hbar omega nbsp de ℏ displaystyle hbar nbsp zvedena stala Planka a w displaystyle omega nbsp ciklichna chastota Ce porodzhuye problemu energiyi vakuumu oskilki takih mod neskinchenno bagato j sumarna energiya vakuumu maye buti neskinchennoyu Odnak fizichni eksperimenti zokrema Lembiv zsuv ta efekt Kazimira svidchat pro te sho nulovi kolivannya elektromagnitnogo polya realnist i sho voni mozhut vzayemodiyati z inshimi fizichnimi ob yektami Insha ideya yaka she bilshe uskladnyuye rozuminnya vakuumu pov yazana z rivnyannyam Diraka sho opisuye kvantovu chastinku zokrema elektron Rivnyannya Diraka dlya vilnogo elektrona maye chotiri rozv yazki dva z nih iz vid yemnoyu energiyeyu Pol Dirak pokazav sho za dopomogoyu operaciyi zaryadovogo spryazhennya ci rozv yazki mozhna traktuvati yak rozv yazki z dodatnoyu energiyeyu ale dlya chastinki z protilezhnim pozitivnim zaryadom tobto antichastinki elektrona Taka antichastinka bula viyavlena eksperimentalno j otrimala nazvu pozitrona Traktuvannya Diraka shozhe na teoriyu napivprovidnikiv chastinki elektroni analogichni elektronam providnosti todi yak antichastinki pozitroni analogichni dirkam V osnovnomu stani sho vidpovidaye vakuumu vsi energetichni stani z vid yemnoyu energiyeyu zapovneni a pozitron vidpovidaye nezapovnenomu stanovi Pri rozglyadi vzayemodij mizh chastinkami v kvantovij elektrodinamici chasto neobhidno vrahovuvati mozhlivist utvorennya z vakuumu virtualnih elektron pozitronnih par Div takozh RedaguvatiVikishovishe maye multimedijni dani za temoyu VakuumEnergiya vakuumu Vakuumna tehnika Magnitna proniknist vakuumu Dielektrichna proniknist vakuumu Hvilovij opir vakuumu Hibnij vakuum Ejnshtejnivskij vakuum Ekologichnij vakuumPrimitki Redaguvati Vakuum Arhivovano 5 bereznya 2016 u Wayback Machine v Akademichnomu tlumachnomu slovniku ukrayinskoyi movi v 11 tomah T 1 S 282 Porozhnya Arhivovano 5 bereznya 2016 u Wayback Machine v Akademichnomu tlumachnomu slovniku ukrayinskoyi movi v 11 tomah T 7 S 269 a b DSTU 2758 94 Vakuumna tehnika Termini ta viznachennya Borisov V P Izobretenie davshee dorogu otkrytiyam Arhivovano 5 grudnya 2014 u Wayback Machine Vestnik Roossijskoj akademii nauk 2003 tom 73 8 s 744 748 ros Borisov V P Izobretenie vakuumnogo nasosa i krushenie dogmy Boyazni Pustoty Arhivovano 15 travnya 2014 u Wayback Machine Voprosy istorii estestvoznaniya i tehniki 4 2002 ros Andrew Guthrie Vacuum Technology John Wiley amp Sons Inc New York and London 1963 Andrea Sella Classic Kit Sprengel pump Arhivovano 3 listopada 2014 u Wayback Machine na sajti Royal Society of Chemistry angl Shuka A A Elektronika 2 e izd pererab i dop SPb BHV Peterburg 2008 752 s S 9 Uchebnaya literatura dlya vuzov ISBN 978 5 9775 0160 6 Borisov V P Glava 4 Formirovanie osnov sovremennoj vakuumnoj tehniki Vakuum ot naturfilosofii do diffuzionnogo nasosa M NPK Intelvak 2001 Tadokoro M 1968 A Study of the Local Group by Use of the Virial Theorem Publications of the Astronomical Society of Japan 20 230 Bibcode 1968PASJ 20 230T American Vacuum Society Glossary AVS Reference Guide Arhiv originalu za 15 chervnya 2013 Procitovano 15 bereznya 2006 National Physical Laboratory UK What do high vacuum and low vacuum mean FAQ Pressure Arhiv originalu za 15 chervnya 2013 Procitovano 22 kvitnya 2012 DSTU 3711 98 Zasobi vimiryuvan tisku Termini ta viznachennya Rosijsko ukrayinskij elektroradiotehnichnij slovnik 30 000 terminiv Ukladachi Yu T Velichko K V vo AN URSR 1961Dzherela RedaguvatiGirka I O Kononenko S I Yunakov M M Teoretichni osnovi vakuumnoyi tehniki Navchalnij posibnik H 2009 53 s Beh I I Osnovi fiziki vakuumu ta vakuumnoyi tehniki Metodi otrimannya visokogo j nadvisokogo vakuumu Tekst navch posib I I Beh ta in Kiyivskij nacionalnij un t im Tarasa Shevchenka K Vidavnicho poligrafichnij centr Kiyivskij universitet 2001 105 s ISBN 966 594 261 Rozanov p n Vakuumnaya tehnika Ucheb dlya vuzov po spec Vakuumnaya tehnika 2 e izd pererab i dop M Vysshaya shkola 1990 320 s ISBN 5 06 000479 1 Ashkinazi L A Vakuum dlya nauki i tehniki M Nauka Gl red fiz mat lit 1987 128 s B chka Kvant Vyp 58 Fundamentals of Vacuum Technology Arhivovano 4 bereznya 2016 u Wayback Machine Compiled by Dr Walter Umrath Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 2007 198 p Otrimano z https uk wikipedia org w index php title Vakuum amp oldid 39870339