Ва́куумний насо́с (англ. vacuum pump) — елемент вакуумної системи, призначений для створювання, підвищування і підтримування вакууму.
Історична довідка
Перший вакуумний насос (поршневий циліндр з водяним защільненням) сконструював у 1654 Отто фон Ґеріке. Цей насос дозволив легко відкачувати повітря з герметичних ємкостей та експериментувати з вакуумом. Насос, який автор назвав лат. antlia pneumatica, був далеким від досконалості, однак з його допомогою Геріке зумів продемонструвати основні властивості вакууму. Саме за допомогою цього насоса проведено було знаменитий дослід з Магдебурзькими півкулями.
У 1850 винайшов ртутно-поршневий насос, у 1855 отримав за допомогою ртутного насоса тиск 0,01 торр, а у 1865 створив , названий його іменем. Подальші роботи з удосконалення конструкцій вакуумних насосів у середині XIX ст. відкрило шлях до створення електровакуумних ламп.
У 1884 році італієць А. Маліньяні вперше застосував у виробництві ламп розжарення зв'язування залишкових газів парою фосфору і тим самим поклав початок застосуванню поглиначів, так званих гетерів.
У 1905 році молодий німецький фізик Вольфганг Геде робить винахід обертового ртутного вакуумного насоса. У 1906 році Джеймс Дьюар розробив спосіб отримання вакууму шляхом поглинання газів активованим вугіллям, яке охолоджувалось рідким азотом (кріосорбційний насос). Далі з'являються молекулярний (В. Геде, 1912) та дифузійний насоси (В. Геде, 1913).
В 1930-40-х роках набули популярності конструкції молекулярних насосів Гольвека та Зігбана, у яких для відкачування газу служили канали виконані по гвинтовій лінії у циліндричному статорі (у конструкції першого автора) або по спіралі у дисковому роторі (у конструкції другого автора). Такі насоси дозволяли досягати вакууму з тиском 10−7 мм рт. ст. але для забезпечення малих зазорів вимагали високої точності виготовлення основних деталей.
Інтерес до молекулярних насосів підвищився на початку 1960-х років після винаходу В. Беккером турбомолекулярного насоса, конструкції «з великими допустимими зазорами». Конструктивно насос Беккера нагадував багатоступінчастий осьовий компресор. Насос, описаний Беккером у 1961 році, мав ротор діаметром 600 мм, що обертався з частотою 6000 об/хв. Такі насоси здатні були забезпечити високий та надвисокий вакуум (10−3…10−10 мм рт. ст.).
Основні параметри вакуумних насосів
До основних параметрів вакуумних насосів належать:
- граничний (найменший) тиск (залишковий тиск, граничний вакуум), який може бути досягнутий насосом;
- швидкість відкачування — об'єм газу, що відкачується при даному тиску за одиницю часу (м³/с, л/с)
- допустимий (найбільший) випускний тиск у випускному перетині насоса, подальше підвищення якого порушує нормальну роботу останнього.
Фізичні принципи роботи вакуумних насосів
Вакуумні насоси за фізичними принципами їх роботи поділяють на газопереносні (газоперекачувальні) насоси та газозв'язувальні (уловлювальні) насоси.
Газопереносні вакуумні насоси
Газопереносні вакуумні насоси — вакуумні насоси, у яких переміщення газу від входу до виходу здійснюється або внаслідок механічного руху робочих частин насоса, або за рахунок захоплювання газу чи молекул газу струменем робочої речовини, або за рахунок дії електричного і магнітного полів чи одного електричного поля. За фізичними особливостями перебігу процесу поділяються наоб'ємні, що використовують періодичну зміну об'єму і кінетичні — насоси, що працюють шляхом передачі імпульсу молекулам газу, що відкачується.
Об'ємні насоси
Об'ємні насоси здійснюють відкачування за рахунок періодичної зміни об'єму робочої камери. Переважно вони використовуються для отримання попереднього розрідження (форвакууму). До них належать поршневі та ротаційні (обертальні) вакуумні насоси.
Основними робочими деталями поршневих насосів є циліндр, поршень та приводний механізм. Використовуються для створення вакууму 5…100 мм рт.ст. Поршневі вакуумні насоси бувають:
- сухі — відкачують лише газ;
- мокрі — здатні відкачувати суміш газу з рідиною;
Обертальні (ротаційні) насоси використовують обертальний рух спеціального пристрою (ротора). Використовуються для створення вакууму 0,5…0,001 мм рт.ст. В залежності від конструкції ротора поділяються на:
- масляні (з масляним защільненням): пластинчасто-роторні, пластинчасто-статорні, роторно-плунжерні);
- з ковзними лопатями — використовуються для великих об'ємів та створення централізованих систем попереднього розрідження;
- з рідинним поршнем (водокільцеві) — використовуються для відкачування легкозаймистих при низьких температурах газів, для тих, яким не допускається контакт з мастилом та інших спеціальних умов;
- двороторні незмащувані — мають високу швидкість обертання роторів (до 3000 об/хв);
- зубчасті — служать для створення низького вакууму (0,1…0,01 мм рт.ст.), швидкість обертання до 1000 об/хв.
Кінетичні насоси
Кінетичні вакуумні насоси здійснюють відкачування за рахунок передавання молекулам газу кількості руху від твердої, рідкої чи пароподібної поверхні, що швидко рухається. До них належать:
- роторний молекулярний і турбомолекулярний насоси;
- струменевий насос — газоперекачувальний вакуумний носос, відкачувальна дія якого ґрунтується на захоплюванні газу, що видаляється, струменем рідини, пари або газу (відповідно, бувають паро-, газо- і рідинно-струменеві). Серед них знайшли застосування такі різновиди:
- дифузійний — пароструменевий високовакуумний насос, у якому захоплювання газу струменем відбувається за рахунок дифузії газу в струмінь (використовуються для створення вакууму 2∙10−6…3∙10−7мм рт.ст.);
- ежекторний — пароструменевий низьковакуумний насос, у якому відбувається турбулентно-в'язкісне захоплювання газу струменем (використовуються для створення вакууму 1…100 мм.рт.ст.);
- дифузійно-ежекторний — пароструменевий вакуумний насос, у якому захоплювання газу струменем відбувається за рахунок дифузії газу в струмінь і турбулентно-в'язкісного захоплювання газу струменем
- іонний насос — кінетичний насос, у якому відкачуваний газ піддається інтенсивній іонізації, а утворені додатньо заряджені йони усуваються за допомогою електричного і магнітного полів або лише електричного поля. Використовуються для створення вакууму 1∙10−6…3∙10−8 мм рт.ст.;
Уловлювальні насоси
Уловлювальні (газозв'язувальні) насоси — вакуумні насоси, у яких використовується принцип сорбції або конденсації молекул газу на внутрішніх поверхнях насоса. До них належать такі види насосів:
- сорбційний насос — уловлювальний вакуумний насос, у якому відкачування відбувається внаслідок сорбції газу, у тому числі:
- гетерний — сорбційний насос, у якому відкачування відбувається внаслідок хемосорбції газу гетером
- випарний — вид гетерного насоса, у якому поглинальна поверхня відновлюється шляхом конденсації на ній термічно випаровуваного гетера;
- гетерно-іонний — гетерний насос, у якому поряд з хемосорбцією виникає іонізація газу з наступним проникненням прискорених іонів у поверхню розпиленого гетера
- сублімаційно-іонний — гетерно-іонний насос, у якому іонізований газ скеровується до поверхні гетера, яка утворюється внаслідок безперервного чи періодичного випаровування
- магнітний електророзрядний — гетерно-іонний насос, у якому для розпилювання гетера використовують газовий розряд у магнітному полі
- адсорбційний — сорбційний насос, у якому відкачування відбувається внаслідок фізисорбції газу пористим сорбентом за низької температури.
- гетерний — сорбційний насос, у якому відкачування відбувається внаслідок хемосорбції газу гетером
- конденсаційний насос — уловлювальний вакуумний насос, у якому відкачування здійснюється шляхом конденсації газу на охолоджуваних поверхнях;
- кріогенний насос (кріонасос) — використовують низькі температури для конденсації газів в твердий чи адсорбований стан;
- комбінований насос — комбінації гетерного вакуумного насоса, магнітного електророзрядного насоса і кріонасоса у різних сполученнях, розміщених в одному корпусі
Класифікація вакуумних насосів
Вакуумні насоси класифікують як за типом вакууму, так і за конструкцією.
Класифікація за рівнем вакууму
Величини тисків з якими працює вакуумна техніка, охоплює діапазон від 105 до 10−12 Па. Ступінь вакууму характеризується коефіцієнтом Кнудсена , величина якого визначається відношенням середньої довжини вільного пробігу молекул газу до лінійного ефективного розміру вакуумного елемента Lеф. Ефективними розмірами можуть бути відстань між стінками вакуумної камери, діаметр вакуумного трубопроводу, відстань між електродами приладу тощо.
Умовно весь діапазон тисків для реальних розмірів вакуумних приладів може бути поділений на піддіапазони наступним способом:
- Низький вакуум
- λ << Lеф
- Kn ≤ 5× 10−3
- Тиск 105…102 Па (103…100 мм рт.ст.)
- Середній вакуум
- λ ≥ Lеф
- 5× 10−3 < Kn < 1,5
- Тиск 102…10−1 Па (100…10−3 мм рт.ст.)
- Високий вакуум
- λ > Lеф
- Kn ≥ 1,5
- Тиск 10−1…10−5 Па (10−3…10−7 мм рт.ст.)
- Надвисокий вакуум
- λ >> Lеф
- Kn >> 1,5
- Тиск 10−5 Па й нижче (10−7…10−11 мм рт.ст.)
Такий поділ ступенів вакууму не є єдиним, за різними джерелами вказані діапазони можуть дещо відрізнятись. Відповідно до поданої класифікації вакуумні насоси за рівнем вакууму, який вони можуть забезпечити поділяються на надвисоковакуумні, високовакуумні, середньовакуумні й низьковакуумні. Крім цього, за функціональним призначення ще вирізняють такі види вакуумних насосів:
- вакуумний насос попереднього розріджування — вакуумний насос, призначений для зниження тиску у відкачуваному об'ємі з атмосферного до значення, яке дає змогу почати роботу іншої відкачувальної системи;
- форвакуумний насос — вакуумний насос, призначений для підтримування тиску у вихідному перерізі насоса більш високого вакууму, який дає змогу останньому забезпечувати задані параметри відкачування;
- бустерний вакуумний насос — вакуумний насос, що його встановлюють між форвакуумним та високовакуумним насосами, аби привести у відповідність випускний тиск високовакуумного насоса із впускним тиском форвакуумного насоса.
Класифікація насосів за конструктивними ознаками
Залежно від принципу дії й конструктивних особливостей вакуумні насоси бувають механічні та фізико-хімічні.
- Механічні:
- поршневі (у тому числі ртутно-поршневі);
- діафрагмові;
- пластинчасто-роторні (в тому числі рідинно-кільцеві);
- гвинтові;
- конструкції типу «Рутс»;
- золотникові;
- спіральні тощо.
- Фізико-хімічні:
- магніторозрядні;
- струменеві;
- сорбційні;
- кріогенні тощо.
Застосування
Для отримання вакууму того чи іншого ступеня потрібні відповідні насоси або їх комбінація. Вибір насоса визначається родом і кількістю газів, що пропускаються насосом та діапазоном робочих тисків насоса і його параметрами. Не існує такого насоса, за допомогою якого можна було б забезпечити отримання вакууму в усьому діапазоні тисків з прийнятною ефективністю.
Вакуумні насоси застосовують у вакуумній металургії, енергетиці, електроніці, в хімічній і харчовій промисловості, медицині тощо.
Див. також
Примітки
- ДСТУ 2758-94 Вакуумна техніка. Терміни та визначення. []
- Борисов В. П. Изобретение, давшее дорогу открытиям [ 5 грудня 2014 у Wayback Machine.] // Вестник Рооссийской академии наук, 2003, том 73, № 8, С. 744—748. (рос.)
- Andrew Guthrie Vacuum Technology. — John Wiley & Sons, Inc; New York and London; 1963.
- Andrea Sella Classic Kit: Sprengel pump [ 3 листопада 2014 у Wayback Machine.] на сайті «Royal Society of Chemistry» (англ.)
- Щука А. А. Электроника. — 2-е изд., перераб. и доп. — СПб.: БХВ-Петербург, 2008. — 752 с. — С.9 (Учебная литература для вузов). —
- Борисов В.П. Глава 4. Формирование основ современной вакуумной техники // Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса. — М. : НПК «Интелвак», 2001.
- Becker W. Deutsches Reich Patent № 10155573 (16/09/1957)
- Becker W. Vakuum-Technik. 1961. № 10. S. 199.
- American Vacuum Society. Glossary. AVS Reference Guide. Архів оригіналу за 15 червня 2013. Процитовано 15 березня 2006.
- . What do 'high vacuum' and 'low vacuum' mean? (FAQ – Pressure). Архів оригіналу за 15 червня 2013. Процитовано 22 квітня 2012.
Джерела
- Гірка І. О., Кононенко С. І., Юнаков М. М. . — Х., 2009. — 53 с.
- Бех І. І. Основи фізики вакууму та вакуумної техніки. Методи отримання високого й надвисокого вакууму [Текст]: навч. посіб. / І. І. Бех та ін. ; Київський національний ун-т ім. Тараса Шевченка. — К.: Видавничо-поліграфічний центр «Київський університет», 2001. — 105 с. — ISBN 966-594-261
- (рос.)Вакуумные системы технологического оборудования [ 29 листопада 2014 у Wayback Machine.] — МГИУ, 2010 — , глава 3 Вакуумные насосы и агрегаты, 3.1 Классификация и общие положения
- (рос.)Розанов Л. Н. Вакуумная техника. — М.: Высшая школа, 1990. — 320 с. — ISBN 5-06-00479-1
- (рос.)Фролов Е. С., Русак Ф. А. и др. Вакуумные системы и их элементы. — М.: Машиностроение, 1968. — 192 с.
- (рос.)Королев Б. И. и др. Основы вакуумной техники. — М.: Наука, 1975. — 463 с.
- (рос.)Данилин Б. С. Минайчев В. Е. Основы конструирования вакуумных систем. — М.: Энергия, 1971. — 304 с.
Посилання
Вікісховище має мультимедійні дані за темою: Вакуумний насос |
- «Вакуумний насос» [ 6 серпня 2016 у Wayback Machine.] в УРЕ.
- A. D. Chew, M. Galtry, R. G. Livesey, and I. Stones // J. Vac. Sci. Technol. Vol. 23, No. 5, Sep/Oct 2005. — P.1314-1318. (англ.)
Вікіпедія, Українська, Україна, книга, книги, бібліотека, стаття, читати, завантажити, безкоштовно, безкоштовно завантажити, mp3, відео, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, малюнок, музика, пісня, фільм, книга, гра, ігри, мобільний, телефон, android, ios, apple, мобільний телефон, samsung, iphone, xiomi, xiaomi, redmi, honor, oppo, nokia, sonya, mi, ПК, web, Інтернет
Va kuumnij naso s angl vacuum pump element vakuumnoyi sistemi priznachenij dlya stvoryuvannya pidvishuvannya i pidtrimuvannya vakuumu Maslyanij vakuumnij nasosIstorichna dovidkaRtutno porshnevij nasos konstrukciyi Gejslera Teplera Pershij vakuumnij nasos porshnevij cilindr z vodyanim zashilnennyam skonstruyuvav u 1654 Otto fon Gerike Cej nasos dozvoliv legko vidkachuvati povitrya z germetichnih yemkostej ta eksperimentuvati z vakuumom Nasos yakij avtor nazvav lat antlia pneumatica buv dalekim vid doskonalosti odnak z jogo dopomogoyu Gerike zumiv prodemonstruvati osnovni vlastivosti vakuumu Same za dopomogoyu cogo nasosa provedeno bulo znamenitij doslid z Magdeburzkimi pivkulyami U 1850 vinajshov rtutno porshnevij nasos u 1855 otrimav za dopomogoyu rtutnogo nasosa tisk 0 01 torr a u 1865 stvoriv nazvanij jogo imenem Podalshi roboti z udoskonalennya konstrukcij vakuumnih nasosiv u seredini XIX st vidkrilo shlyah do stvorennya elektrovakuumnih lamp U 1884 roci italiyec A Malinyani vpershe zastosuvav u virobnictvi lamp rozzharennya zv yazuvannya zalishkovih gaziv paroyu fosforu i tim samim poklav pochatok zastosuvannyu poglinachiv tak zvanih geteriv U 1905 roci molodij nimeckij fizik Volfgang Gede robit vinahid obertovogo rtutnogo vakuumnogo nasosa U 1906 roci Dzhejms Dyuar rozrobiv sposib otrimannya vakuumu shlyahom poglinannya gaziv aktivovanim vugillyam yake oholodzhuvalos ridkim azotom kriosorbcijnij nasos Dali z yavlyayutsya molekulyarnij V Gede 1912 ta difuzijnij nasosi V Gede 1913 V 1930 40 h rokah nabuli populyarnosti konstrukciyi molekulyarnih nasosiv Golveka ta Zigbana u yakih dlya vidkachuvannya gazu sluzhili kanali vikonani po gvintovij liniyi u cilindrichnomu statori u konstrukciyi pershogo avtora abo po spirali u diskovomu rotori u konstrukciyi drugogo avtora Taki nasosi dozvolyali dosyagati vakuumu z tiskom 10 7 mm rt st ale dlya zabezpechennya malih zazoriv vimagali visokoyi tochnosti vigotovlennya osnovnih detalej Interes do molekulyarnih nasosiv pidvishivsya na pochatku 1960 h rokiv pislya vinahodu V Bekkerom turbomolekulyarnogo nasosa konstrukciyi z velikimi dopustimimi zazorami Konstruktivno nasos Bekkera nagaduvav bagatostupinchastij osovij kompresor Nasos opisanij Bekkerom u 1961 roci mav rotor diametrom 600 mm sho obertavsya z chastotoyu 6000 ob hv Taki nasosi zdatni buli zabezpechiti visokij ta nadvisokij vakuum 10 3 10 10 mm rt st Osnovni parametri vakuumnih nasosivDo osnovnih parametriv vakuumnih nasosiv nalezhat granichnij najmenshij tisk zalishkovij tisk granichnij vakuum yakij mozhe buti dosyagnutij nasosom shvidkist vidkachuvannya ob yem gazu sho vidkachuyetsya pri danomu tisku za odinicyu chasu m s l s dopustimij najbilshij vipusknij tisk u vipusknomu peretini nasosa podalshe pidvishennya yakogo porushuye normalnu robotu ostannogo Fizichni principi roboti vakuumnih nasosivMaslyanij plastinchasto rotornij vakuumnij nasos u rozrizi Vakuumni nasosi za fizichnimi principami yih roboti podilyayut na gazoperenosni gazoperekachuvalni nasosi ta gazozv yazuvalni ulovlyuvalni nasosi Gazoperenosni vakuumni nasosi Gazoperenosni vakuumni nasosi vakuumni nasosi u yakih peremishennya gazu vid vhodu do vihodu zdijsnyuyetsya abo vnaslidok mehanichnogo ruhu robochih chastin nasosa abo za rahunok zahoplyuvannya gazu chi molekul gazu strumenem robochoyi rechovini abo za rahunok diyi elektrichnogo i magnitnogo poliv chi odnogo elektrichnogo polya Za fizichnimi osoblivostyami perebigu procesu podilyayutsya naob yemni sho vikoristovuyut periodichnu zminu ob yemu i kinetichni nasosi sho pracyuyut shlyahom peredachi impulsu molekulam gazu sho vidkachuyetsya Ob yemni nasosi Shema rotacijnogo dvorotornogo nasosa tipu Ruts 1 3 rotori 2 kozhuh Ob yemni nasosi zdijsnyuyut vidkachuvannya za rahunok periodichnoyi zmini ob yemu robochoyi kameri Perevazhno voni vikoristovuyutsya dlya otrimannya poperednogo rozridzhennya forvakuumu Do nih nalezhat porshnevi ta rotacijni obertalni vakuumni nasosi Osnovnimi robochimi detalyami porshnevih nasosiv ye cilindr porshen ta privodnij mehanizm Vikoristovuyutsya dlya stvorennya vakuumu 5 100 mm rt st Porshnevi vakuumni nasosi buvayut suhi vidkachuyut lishe gaz mokri zdatni vidkachuvati sumish gazu z ridinoyu Obertalni rotacijni nasosi vikoristovuyut obertalnij ruh specialnogo pristroyu rotora Vikoristovuyutsya dlya stvorennya vakuumu 0 5 0 001 mm rt st V zalezhnosti vid konstrukciyi rotora podilyayutsya na maslyani z maslyanim zashilnennyam plastinchasto rotorni plastinchasto statorni rotorno plunzherni z kovznimi lopatyami vikoristovuyutsya dlya velikih ob yemiv ta stvorennya centralizovanih sistem poperednogo rozridzhennya z ridinnim porshnem vodokilcevi vikoristovuyutsya dlya vidkachuvannya legkozajmistih pri nizkih temperaturah gaziv dlya tih yakim ne dopuskayetsya kontakt z mastilom ta inshih specialnih umov dvorotorni nezmashuvani mayut visoku shvidkist obertannya rotoriv do 3000 ob hv zubchasti sluzhat dlya stvorennya nizkogo vakuumu 0 1 0 01 mm rt st shvidkist obertannya do 1000 ob hv Kinetichni nasosi Molekulyarnij nasos konstrukciyi Gede 1 vipusknij patrubok 2 vpusknij patrubok 3 rotor 4 statorTurbomolekulyarnij nasosDifuzijnij paromaslyanij vakuumnij nasos u rozrizi Kinetichni vakuumni nasosi zdijsnyuyut vidkachuvannya za rahunok peredavannya molekulam gazu kilkosti ruhu vid tverdoyi ridkoyi chi paropodibnoyi poverhni sho shvidko ruhayetsya Do nih nalezhat rotornij molekulyarnij i turbomolekulyarnij nasosi strumenevij nasos gazoperekachuvalnij vakuumnij nosos vidkachuvalna diya yakogo gruntuyetsya na zahoplyuvanni gazu sho vidalyayetsya strumenem ridini pari abo gazu vidpovidno buvayut paro gazo i ridinno strumenevi Sered nih znajshli zastosuvannya taki riznovidi difuzijnij parostrumenevij visokovakuumnij nasos u yakomu zahoplyuvannya gazu strumenem vidbuvayetsya za rahunok difuziyi gazu v strumin vikoristovuyutsya dlya stvorennya vakuumu 2 10 6 3 10 7mm rt st ezhektornij parostrumenevij nizkovakuumnij nasos u yakomu vidbuvayetsya turbulentno v yazkisne zahoplyuvannya gazu strumenem vikoristovuyutsya dlya stvorennya vakuumu 1 100 mm rt st difuzijno ezhektornij parostrumenevij vakuumnij nasos u yakomu zahoplyuvannya gazu strumenem vidbuvayetsya za rahunok difuziyi gazu v strumin i turbulentno v yazkisnogo zahoplyuvannya gazu strumenem ionnij nasos kinetichnij nasos u yakomu vidkachuvanij gaz piddayetsya intensivnij ionizaciyi a utvoreni dodatno zaryadzheni joni usuvayutsya za dopomogoyu elektrichnogo i magnitnogo poliv abo lishe elektrichnogo polya Vikoristovuyutsya dlya stvorennya vakuumu 1 10 6 3 10 8 mm rt st Ulovlyuvalni nasosi Ulovlyuvalni gazozv yazuvalni nasosi vakuumni nasosi u yakih vikoristovuyetsya princip sorbciyi abo kondensaciyi molekul gazu na vnutrishnih poverhnyah nasosa Do nih nalezhat taki vidi nasosiv sorbcijnij nasos ulovlyuvalnij vakuumnij nasos u yakomu vidkachuvannya vidbuvayetsya vnaslidok sorbciyi gazu u tomu chisli geternij sorbcijnij nasos u yakomu vidkachuvannya vidbuvayetsya vnaslidok hemosorbciyi gazu geterom viparnij vid geternogo nasosa u yakomu poglinalna poverhnya vidnovlyuyetsya shlyahom kondensaciyi na nij termichno viparovuvanogo getera geterno ionnij geternij nasos u yakomu poryad z hemosorbciyeyu vinikaye ionizaciya gazu z nastupnim proniknennyam priskorenih ioniv u poverhnyu rozpilenogo getera sublimacijno ionnij geterno ionnij nasos u yakomu ionizovanij gaz skerovuyetsya do poverhni getera yaka utvoryuyetsya vnaslidok bezperervnogo chi periodichnogo viparovuvannya magnitnij elektrorozryadnij geterno ionnij nasos u yakomu dlya rozpilyuvannya getera vikoristovuyut gazovij rozryad u magnitnomu poli adsorbcijnij sorbcijnij nasos u yakomu vidkachuvannya vidbuvayetsya vnaslidok fizisorbciyi gazu poristim sorbentom za nizkoyi temperaturi kondensacijnij nasos ulovlyuvalnij vakuumnij nasos u yakomu vidkachuvannya zdijsnyuyetsya shlyahom kondensaciyi gazu na oholodzhuvanih poverhnyah kriogennij nasos krionasos vikoristovuyut nizki temperaturi dlya kondensaciyi gaziv v tverdij chi adsorbovanij stan kombinovanij nasos kombinaciyi geternogo vakuumnogo nasosa magnitnogo elektrorozryadnogo nasosa i krionasosa u riznih spoluchennyah rozmishenih v odnomu korpusiKlasifikaciya vakuumnih nasosivVakuumni nasosi klasifikuyut yak za tipom vakuumu tak i za konstrukciyeyu Klasifikaciya za rivnem vakuumu Velichini tiskiv z yakimi pracyuye vakuumna tehnika ohoplyuye diapazon vid 105 do 10 12 Pa Stupin vakuumu harakterizuyetsya koeficiyentom Knudsena Kn displaystyle Kn velichina yakogo viznachayetsya vidnoshennyam serednoyi dovzhini vilnogo probigu molekul gazu do linijnogo efektivnogo rozmiru vakuumnogo elementa Lef Efektivnimi rozmirami mozhut buti vidstan mizh stinkami vakuumnoyi kameri diametr vakuumnogo truboprovodu vidstan mizh elektrodami priladu tosho Umovno ves diapazon tiskiv dlya realnih rozmiriv vakuumnih priladiv mozhe buti podilenij na piddiapazoni nastupnim sposobom Nizkij vakuum l lt lt Lef Kn 5 10 3 Tisk 105 102 Pa 103 100 mm rt st Serednij vakuum l Lef 5 10 3 lt Kn lt 1 5 Tisk 102 10 1 Pa 100 10 3 mm rt st Visokij vakuum l gt Lef Kn 1 5 Tisk 10 1 10 5 Pa 10 3 10 7 mm rt st Nadvisokij vakuum l gt gt Lef Kn gt gt 1 5 Tisk 10 5 Pa j nizhche 10 7 10 11 mm rt st Takij podil stupeniv vakuumu ne ye yedinim za riznimi dzherelami vkazani diapazoni mozhut desho vidriznyatis Vidpovidno do podanoyi klasifikaciyi vakuumni nasosi za rivnem vakuumu yakij voni mozhut zabezpechiti podilyayutsya na nadvisokovakuumni visokovakuumni serednovakuumni j nizkovakuumni Krim cogo za funkcionalnim priznachennya she viriznyayut taki vidi vakuumnih nasosiv vakuumnij nasos poperednogo rozridzhuvannya vakuumnij nasos priznachenij dlya znizhennya tisku u vidkachuvanomu ob yemi z atmosfernogo do znachennya yake daye zmogu pochati robotu inshoyi vidkachuvalnoyi sistemi forvakuumnij nasos vakuumnij nasos priznachenij dlya pidtrimuvannya tisku u vihidnomu pererizi nasosa bilsh visokogo vakuumu yakij daye zmogu ostannomu zabezpechuvati zadani parametri vidkachuvannya busternij vakuumnij nasos vakuumnij nasos sho jogo vstanovlyuyut mizh forvakuumnim ta visokovakuumnim nasosami abi privesti u vidpovidnist vipusknij tisk visokovakuumnogo nasosa iz vpusknim tiskom forvakuumnogo nasosa Klasifikaciya nasosiv za konstruktivnimi oznakami Zalezhno vid principu diyi j konstruktivnih osoblivostej vakuumni nasosi buvayut mehanichni ta fiziko himichni Mehanichni porshnevi u tomu chisli rtutno porshnevi diafragmovi plastinchasto rotorni v tomu chisli ridinno kilcevi gvintovi konstrukciyi tipu Ruts zolotnikovi spiralni tosho Fiziko himichni magnitorozryadni strumenevi sorbcijni kriogenni tosho ZastosuvannyaDlya otrimannya vakuumu togo chi inshogo stupenya potribni vidpovidni nasosi abo yih kombinaciya Vibir nasosa viznachayetsya rodom i kilkistyu gaziv sho propuskayutsya nasosom ta diapazonom robochih tiskiv nasosa i jogo parametrami Ne isnuye takogo nasosa za dopomogoyu yakogo mozhna bulo b zabezpechiti otrimannya vakuumu v usomu diapazoni tiskiv z prijnyatnoyu efektivnistyu Vakuumni nasosi zastosovuyut u vakuumnij metalurgiyi energetici elektronici v himichnij i harchovij promislovosti medicini tosho Div takozhPompa tehnika Vakuumna tehnikaPrimitkiDSTU 2758 94 Vakuumna tehnika Termini ta viznachennya storinka Borisov V P Izobretenie davshee dorogu otkrytiyam 5 grudnya 2014 u Wayback Machine Vestnik Roossijskoj akademii nauk 2003 tom 73 8 S 744 748 ros Andrew Guthrie Vacuum Technology John Wiley amp Sons Inc New York and London 1963 Andrea Sella Classic Kit Sprengel pump 3 listopada 2014 u Wayback Machine na sajti Royal Society of Chemistry angl Shuka A A Elektronika 2 e izd pererab i dop SPb BHV Peterburg 2008 752 s S 9 Uchebnaya literatura dlya vuzov ISBN 978 5 9775 0160 6 Borisov V P Glava 4 Formirovanie osnov sovremennoj vakuumnoj tehniki Vakuum ot naturfilosofii do diffuzionnogo nasosa M NPK Intelvak 2001 Becker W Deutsches Reich Patent 10155573 16 09 1957 Becker W Vakuum Technik 1961 10 S 199 American Vacuum Society Glossary AVS Reference Guide Arhiv originalu za 15 chervnya 2013 Procitovano 15 bereznya 2006 What do high vacuum and low vacuum mean FAQ Pressure Arhiv originalu za 15 chervnya 2013 Procitovano 22 kvitnya 2012 DzherelaGirka I O Kononenko S I Yunakov M M H 2009 53 s Beh I I Osnovi fiziki vakuumu ta vakuumnoyi tehniki Metodi otrimannya visokogo j nadvisokogo vakuumu Tekst navch posib I I Beh ta in Kiyivskij nacionalnij un t im Tarasa Shevchenka K Vidavnicho poligrafichnij centr Kiyivskij universitet 2001 105 s ISBN 966 594 261 ros Vakuumnye sistemy tehnologicheskogo oborudovaniya 29 listopada 2014 u Wayback Machine MGIU 2010 ISBN 9785276018003 glava 3 Vakuumnye nasosy i agregaty 3 1 Klassifikaciya i obshie polozheniya ros Rozanov L N Vakuumnaya tehnika M Vysshaya shkola 1990 320 s ISBN 5 06 00479 1 ros Frolov E S Rusak F A i dr Vakuumnye sistemy i ih elementy M Mashinostroenie 1968 192 s ros Korolev B I i dr Osnovy vakuumnoj tehniki M Nauka 1975 463 s ros Danilin B S Minajchev V E Osnovy konstruirovaniya vakuumnyh sistem M Energiya 1971 304 s PosilannyaVikishovishe maye multimedijni dani za temoyu Vakuumnij nasos Vakuumnij nasos 6 serpnya 2016 u Wayback Machine v URE A D Chew M Galtry R G Livesey and I Stones J Vac Sci Technol Vol 23 No 5 Sep Oct 2005 P 1314 1318 angl