www.wikidata.uk-ua.nina.az
Fotonnij kristal tverdotilna struktura z periodichno zminnoyu dielektrichnoyu proniknistyu abo neodnoridnistyu period yakoyi spivvimirnij z dovzhinoyu hvili svitla Zmist 1 Viznachennya 2 Zagalna informaciya 3 Klasifikaciya fotonnih kristaliv 4 Metodi teoretichnogo doslidzhennya fotonnih kristaliv chiselni metodi ta programne zabezpechennya 5 Vigotovlennya fotonnih kristaliv 5 1 Metodi sho vikoristovuyut samovilne formuvannya fotonnih kristaliv 5 2 Metodi travlennya 5 3 Golografichni metodi 5 4 Inshi metodi stvorennya fotonnih kristaliv 6 Div takozh 7 PosilannyaViznachennya RedaguvatiCe material struktura yakogo harakterizuyetsya periodichnoyu zminoyu pokaznika zalomlennya u prostorovih napryamkah 1 V inshij roboti 2 zustrichayetsya rozshirene viznachennya fotonnih kristaliv fotonnimi kristalami prijnyato nazivati seredovisha v yakih dielektrichna proniknist periodichno zminyuyetsya v prostori z periodom sho dopuskaye breggivsku difrakciyu svitla V tretij roboti 3 zustrichayetsya viznachennya fotonnih kristaliv v inshij formi vzhe bilshe 10 rokiv na sluhu strukturi z fotonnoyu zaboronenoyu zonoyu yaki otrimali korotku nazvu fotonni kristali photonic crystals Fotonni kristali prostorovo periodichni tverdotilni strukturi dielektrichna proniknist yakih promodulovana z periodom yakij mozhna porivnyati z dovzhinoyu hvili svitla 4 Zagalna informaciya Redaguvati nbsp Mal 1 Foto brasleta z opalom Opal ye prirodnim fotonnim kristalom Fotonni kristali zavdyaki periodichnij zmini pokaznika zalomlennya dozvolyayut otrimati dozvoleni i zaboroneni zoni dlya energij fotoniv podibno do napivprovidnikovih materialiv v yakih sposterigayutsya dozvoleni i zaboroneni zoni dlya energij nosiyiv zaryadu 5 Praktichno ce oznachaye sho yaksho na fotonnij kristal padaye foton sho maye energiyu dovzhinu hvili chastotu yaka vidpovidaye zaboronenij zoni danogo fotonnogo kristala to vin ne mozhe poshiryuvatisya v fotonnomu kristali i vidbivayetsya nazad I navpaki ce oznachaye sho yaksho na fotonnij kristal padaye foton sho maye energiyu dovzhinu hvili chastotu yaka vidpovidaye dozvolenij zoni danogo fotonnogo kristala to vin mozhe poshiryuvatisya v fotonnomu kristali Inshimi slovami fotonnij kristal vikonuye funkciyu optichnogo filtra i same cimi jogo vlastivostyami obumovleni yaskravi i barvisti kolori opala v brasleti yakij pokazanij na malyunku U prirodi fotonni kristali takozh zustrichayutsya na krilah afrikanskih metelikiv kosatciv Princeps nireus 6 7 perlamutrove pokrittya rakovin molyuskiv takih yak galiotisi vusiki morskoyi mishi i shetinki bagatoshetinkovogo cherv yaka Klasifikaciya fotonnih kristaliv RedaguvatiFotonni kristali za harakterom zmini pokaznika zalomlennya mozhna podiliti na tri osnovni klasi 5 nbsp Mal 2 Shematichne podannya odnovimirnogo fotonnogo kristala1 odnovimirni v yakih koeficiyent zalomlennya periodichno zminyuyetsya v odnomu prostorovomu napryamku yak pokazano na mal 2 Na comu malyunku simvolom L poznacheno period zmini pokaznika zalomlennya n 1 displaystyle n 1 nbsp i n 2 displaystyle n 2 nbsp pokazniki zalomlennya dvoh materialiv ale v zagalnomu vipadku mozhe buti nayavnim dovilne chislo materialiv Taki fotonni kristali skladayutsya z paralelnih odin odnomu shariv riznih materialiv z riznimi pokaznikami zalomlennya i mozhut viyavlyati svoyi vlastivosti v odnomu prostorovomu napryamku perpendikulyarnomu sharam nbsp Mal 3 Shematichne podannya dvovimirnogo fotonnogo kristala2 dvomirni v yakih koeficiyent zalomlennya periodichno zminyuyetsya v dvoh prostorovih napryamah yak pokazano na mal 3 Na comu malyunku fotonnij kristal utvorenij pryamokutnimi oblastyami z pokaznikom zalomlennya n 1 displaystyle n 1 nbsp yaki znahodyatsya u seredovishi z pokaznikom zalomlennya n 2 displaystyle n 2 nbsp Pri comu dilyanki z pokaznikom zalomlennya n 1 displaystyle n 1 nbsp uporyadkovani v dvovimirnij kubichnij gratci Taki fotonni kristali mozhut viyavlyati svoyi vlastivosti v dvoh prostorovih napryamah i forma dilyanok z pokaznikom zalomlennya n 1 displaystyle n 1 nbsp ne obmezhuyetsya pryamokutnikami yak na malyunku a mozhe buti bud yakoyu kola elipsi dovilna tosho Kristalichna gratka v yakij uporyadkovani ci dilyanki takozh mozhe buti inshoyu a ne lishe kubichnoyu yak na navedenomu malyunku 3 trivimirni v yakih koeficiyent zalomlennya periodichno zminyuyetsya v troh prostorovih napryamkah Taki fotonni kristali mozhut viyavlyati svoyi vlastivosti v troh prostorovih napryamkah i yih mozhna uyaviti yak masiv ob yemnih dilyanok sfer kubiv tosho uporyadkovanih u trivimirnij kristalichnij gratci Yak i elektrichni seredovisha v zalezhnosti vid shirini zaboronenih i dozvolenih zon fotonni kristali mozhna podiliti na providniki zdatni provoditi svitlo na veliki vidstani z malimi vtratami dielektriki praktichno idealni dzerkala napivprovidniki rechovini zdatni napriklad vibirkovo vidbivati fotoni pevnoyi dovzhini hvili i nadprovidniki v yakih zavdyaki kolektivnim yavisham fotoni zdatni poshiryuvatisya praktichno na neobmezheni vidstani Takozh rozriznyayut rezonansni i nerezonansni fotonni kristali 2 Rezonansni fotonni kristali vidriznyayutsya vid nerezonansnih tim sho v nih vikoristovuyutsya materiali v yakih dielektrichna proniknist abo pokaznik zalomlennya yak funkciya chastoti maye polyus na deyakij rezonansnij chastoti Bud yaka neodnoridnist u fotonnomu kristali napriklad vidsutnist odnogo abo dekilkoh kvadrativ na mal 3 yih bilshij abo menshij rozmir vidnosno kvadrativ originalnogo fotonnogo kristala tosho nazivayut defektom fotonnogo kristala V takih dilyankah chasto zoseredzhuyetsya elektromagnitne pole sho vikoristovuyetsya v mikrorezonatorah i hvilevodah pobudovanih na osnovi fotonnih kristaliv Metodi teoretichnogo doslidzhennya fotonnih kristaliv chiselni metodi ta programne zabezpechennya RedaguvatiFotonni kristali dozvolyayut provoditi manipulyaciyi z elektromagnitnimi hvilyami optichnogo diapazonu prichomu harakteristichni rozmiri fotonnih kristaliv chasto blizki do velichini dovzhini hvili Tomu do nih ne zastosovni metodi promenevoyi teoriyi a vikoristovuyetsya hvilova teoriya i rozv yazki rivnyan Maksvella Rivnyannya Maksvella mozhut buti rozv yazani analitichno i chiselno ale same chiselni metodi rishennya vikoristovuyutsya dlya doslidzhennya vlastivostej fotonnih kristaliv najchastishe cherez yih dostupnist ta legke nalashtuvannya pid rozv yazuvanu zadachu Dorechno takozh zgadati sho vikoristovuyetsya dva osnovni pidhodi do rozglyadu vlastivostej fotonnih kristaliv metodi dlya chasovoyi oblasti yaki dozvolyayut otrimati rozv yazok zadachi v zalezhnosti vid chasovoyi zminnoyi i metodi dlya chastotnoyi oblasti yaki nadayut rozv yazok zadachi u viglyadi funkciyi vid chastoti 8 Metodi dlya chasovoyi oblasti zruchni shodo dinamichnih zadach yaki peredbachayut zalezhnist elektromagnitnogo polya vid chasu Voni takozh mozhut buti vikoristani dlya rozrahunku zonnih struktur fotonnih kristaliv prote praktichno skladno buvaye viyaviti polozhennya zon U vihidnih danih takih metodiv Krim togo pri rozrahunku zonnih diagram fotonnih kristaliv vikoristovuyetsya peretvorennya Fur ye chastotna rozdilnist yakogo zalezhit vid zagalnogo chasu rozrahunku metodu Tobto dlya otrimannya bilshoyi rozdilnosti v zonnij diagrami potribno vitratiti bilshe chasu na vikonannya rozrahunkiv Ye she j insha problema chasovij krok takih metodiv povinen buti proporcijnij rozmiru prostorovoyi sitki metodu Vimoga zbilshennya chastotnoyi rozdilnosti zonnih diagram vimagaye zmenshennya chasovogo kroku a otzhe j rozmiru prostorovoyi sitki zbilshennya chisla iteracij neobhidnoyi operativnoyi pam yati komp yutera i chasu rozrahunku Taki metodi realizovani u vidomih komercijnih paketah modelyuvannya Comsol Multiphysics vikoristovuyetsya metod skinchennih elementiv dlya rozv yazuvannya rivnyan Maksvella 9 RSOFT Fullwave vikoristovuye metod skinchennih riznic 10 samostijno rozrobleni doslidnikami programni kodi dlya metodiv skinchennih elementiv i riznic ta in Metodi dlya chastotnoyi oblasti zruchni nasampered tim sho rozv yazuvannya rivnyan Maksvella vidbuvayetsya vidrazu dlya stacionarnoyi sistemi i bezposeredno z rozv yazku viznachayutsya chastoti optichnih mod sistemi sho dozvolyaye shvidshe rozrahovuvati zonni diagrami fotonnih kristaliv nizh z vikoristannyam metodiv dlya chasovoyi oblasti Do yih perevag mozhna vidnesti chislo iteracij yake praktichno ne zalezhit vid rozdilnosti prostorovoyi sitki metodu i te sho pomilka metodu chiselno spadaye eksponencialno z chislom provedenih iteracij Nedolikami metodu ye neobhidnist rozrahunku vlasnih chastot optichnih mod sistemi v nizkochastotnoyi oblasti dlya togo shob rozrahuvati chastoti v bilsh visokochastotnoyi oblasti i prirodno nemozhlivist opisu dinamiki rozvitku optichnih kolivan v sistemi Dani metodi realizovani v bezkoshtovnomu paketi program MPB 11 i komercijnomu paketi 12 Obidva zgadani programni paketi ne mozhut rozrahovuvati zonni diagrami fotonnih kristaliv v yakih odin abo kilka materialiv mayut kompleksni znachennya pokaznika zalomlennya Dlya doslidzhennya takih fotonnih kristaliv vikoristovuyetsya kombinaciya dvoh paketiv kompaniyi RSoft BandSolve i FullWAVE abo vikoristovuyetsya metod zburennya 13 Bezumovno teoretichni doslidzhennya fotonnih kristaliv ne obmezhuyutsya tilki rozrahunkom zonnih diagram a takozh vimagayut i znan pro stacionarni procesi pri poshirenni elektromagnitnih hvil u fotonnih kristalah Prikladom ye zavdannya doslidzhennya spektru propuskannya fotonnih kristaliv Dlya takih zadach mozhna vikoristovuvati obidva zgadani vishe pidhodi vihodyachi zi zruchnosti ta yih dostupnosti a takozh metodi matrici perenosu viprominyuvannya 14 programa dlya rozrahunku spektriv propuskannya i vidbivannya fotonnih kristaliv sho vikoristovuye danij metod 15 programnij paket pdetool yakij vhodit do skladu paketa Matlab 16 i vzhe zgadanij vishe paket Comsol Multiphysics Vigotovlennya fotonnih kristaliv RedaguvatiIsnuye bagato metodiv vigotovlennya fotonnih kristaliv i novi metodi prodovzhuyut z yavlyatisya Deyaki metodi bilshe pidhodyat dlya formuvannya odnovimirnih fotonnih kristaliv inshi zruchni dlya dvovimirnih treti zastosovni chastishe do trivimirnih fotonnih kristaliv chetverti vikoristovuyutsya pri vigotovlenni fotonnih kristaliv na inshih optichnih priladah i t d Rozglyanemo najvidomishi z cih metodiv Metodi sho vikoristovuyut samovilne formuvannya fotonnih kristaliv Redaguvati U razi samovilnogo formuvannya fotonnih kristaliv vikoristovuyutsya koloyidni chastinki najchastishe vikoristovuyutsya monodispersni kremniyevi abo polistirolni chastinki ale j inshi materiali postupovo stayut dostupnimi dlya vikoristannya v miru rozrobki tehnologichnih metodiv yih otrimannya 17 18 19 20 yaki perebuvayut v ridini i v miru viparovuvannya ridini osadzhuyutsya v pevnomu ob yemi 21 U miru yih osadzhennya odin na odnogo voni formuyut trivimirnij fotonnij kristal i uporyadkovuyutsya perevazhno v granecentrovanu 22 abo geksagonalnu 23 kristalichni gratki Cej metod dostatno povilnij formuvannya fotonnogo kristala mozhe trivati tizhnyami Inshij metod samovilnogo formuvannya fotonnih kristaliv nazivanij stilnikovim metodom peredbachaye filtruvannya ridini v yakij znahodyatsya chastinki cherez malenki pori Cej metod predstavlenij v robotah 24 25 dozvolyaye sformuvati fotonnij kristal zi shvidkistyu sho viznachayetsya shvidkistyu protikannya ridini cherez pori ale pri visihanni takogo kristala v nomu utvoryuyutsya defekti 26 V roboti 27 bulo zaproponovano metod vertikalnogo osadzhennya yakij dozvolyaye stvoryuvati visokouporyadkovani fotonni kristali bilshogo rozmiru nizh dozvolyayut otrimati visheopisani metodi 28 Metodi travlennya Redaguvati Metodi travlennya najbilsh zruchni dlya vigotovlennya dvovimirnih fotonnih kristaliv i ye shiroko vikoristovuvanimi tehnologichnimi metodami pri virobnictvi napivprovidnikovih priladiv Ci metodi zasnovani na zastosuvanni maski z fotorezistu yaka zadaye napriklad masiv kil osadzhenoyi na poverhni napivprovidnika yaka zadaye geometriyu oblasti travlennya Cya maska mozhe buti otrimana v ramkah standartnogo fotolitografichnogo procesu za yakim sliduye travlennya poverhni zrazka z fotorezistom suhim abo vologim metodom Pri comu v tih dilyankah v yakih znahoditsya fotorezist vidbuvayetsya travlennya poverhni fotorezistu a v dilyankah bez fotorezistu travlennya napivprovidnika Tak trivaye do tih pir poki ne bude dosyagnuta potribna glibina travlennya i pislya cogo fotorezist zmivayetsya Takim chinom formuyetsya najprostishij fotonnij kristal Nedolikom danogo metodu ye vikoristannya fotolitografiyi najbilsh poshirena rozdilnist yakoyi skladaye blizko odnogo mikrona 29 Najchastishe dlya dosyagnennya potribnoyi rozdilnosti vikoristovuyetsya kombinaciya standartnogo fotolitografichnogo procesu z litografiyeyu za dopomogoyu elektronnogo puchka 30 Puchki sfokusovanih joniv najchastishe joniv Ga takozh zastosovuyutsya pri vigotovlenni fotonnih kristaliv metodom travlennya voni dozvolyayut vidalyati chastinu materialu bez vikoristannya fotolitografiyi i dodatkovogo travlennya 31 Suchasni sistemi sho vikoristovuyut sfokusovani ionni puchki vikoristovuyut tak zvanu kartu travlennya zapisanu v fajli specialnogo formatu yaka opisuye de puchok ioniv bude pracyuvati skilki impulsiv ionnij puchok povinen poslati v pevnu tochku i t d 32 Takim chinom stvorennya fotonnogo kristala za dopomogoyu takih sistem maksimalno sproshene dosit stvoriti taku kartu travlennya za dopomogoyu specialnogo programnogo zabezpechennya v yakij bude viznachena periodichna oblast travlennya zavantazhiti yiyi v komp yuter sho keruye ustanovkoyu sfokusovanogo ionnogo puchka i zapustiti proces travlennya Dlya bilshoyi shvidkosti travlennya pidvishennya yakosti travlennya abo zh dlya osadzhennya materialiv vseredini vitravlenih oblastej vikoristovuyutsya dodatkovi gazi Materiali osadzheni u vitravleni oblasti dozvolyayut formuvati fotonni kristali z periodichnim cherguvannyam ne tilki vihidnogo materialu i povitrya ale j vihidnogo materialu povitrya i dodatkovih materialiv Priklad osadzhennya materialiv za dopomogoyu danih sistem mozhna znajti v dzherelah 33 34 35 Golografichni metodi Redaguvati Golografichni metodi stvorennya fotonnih kristaliv bazuyutsya na zastosuvanni principiv golografiyi dlya formuvannya periodichnogo zminennya pokaznika zalomlennya v prostorovih napryamah Dlya cogo vikoristovuyetsya interferenciya dvoh abo bilshe kogerentnih hvil yaka stvoryuye periodichnij rozpodil intensivnosti elektrichnogo polya 36 Interferenciya dvoh hvil dozvolyaye stvoryuvati odnovimirni fotonni kristali troh i bilshe promeniv dvomirni i trivimirni fotonni kristali 37 38 Inshi metodi stvorennya fotonnih kristaliv Redaguvati Odnofotonna fotolitografiya i dvofotonna fotolitografiya dozvolyayut stvoryuvati trivimirni fotonni kristali z rozdilnistyu 200 nm 28 i vikoristovuyut vlastivist deyakih materialiv takih yak polimeri yaki chutlivi do odno i dvofotonnogo oprominennya i mozhut zminyuvati svoyi vlastivosti pid vplivom cogo viprominyuvannya 39 40 Litografiya za dopomogoyu puchka elektroniv 41 42 ye dorogim ale visokotochnim metodom dlya vigotovlennya dvovimirnih fotonnih kristaliv 43 U comu metodi fotorezist yakij zminyuye svoyi vlastivosti pid diyeyu puchka elektroniv oprominyuyetsya puchkom v pevnih miscyah dlya formuvannya prostorovoyi maski Pislya oprominennya chastina fotorezistu zmivayetsya a chastina sho zalishilasya vikoristovuyetsya yak maska dlya travlennya v podalshomu tehnologichnomu cikli Najbilsha rozdilnist cogo metodu 10 nm 44 Litografiya za dopomogoyu puchka joniv shozha za svoyim principom tilki zamist puchka elektroniv vikoristovuyetsya puchok joniv Perevagi litografiyi za dopomogoyu puchka joniv nad litografiyeyu za dopomogoyu puchka elektroniv polyagayut u tomu sho fotorezist bilsh chutlivij do puchkiv ioniv nizh elektroniv i vidsutnij efekt blizkosti proximity effect yakij obmezhuye minimalno mozhlivij rozmir oblasti pri litografiyi za dopomogoyu puchka elektroniv 45 46 47 Div takozh RedaguvatiMetamaterialPosilannya Redaguvati stor VI u knizi Photonic Crystals H Benisty V Berger J M Gerard D Maystre A Tchelnokov Springer 2005 a b E L Ivchenko A N Poddubnyj Rezonansnye tryohmernye fotonnye kristally Fizika tvyordogo tela 2006 tom 48 vyp 3 str 540 547 V A Kosobukin Fotonnye kristally Okno v Mikromir No 4 2002 Arhiv originalu za 2 listopada 2007 Procitovano 29 sichnya 2017 V G Fedotov A V Selkin MNOGOVOLNOVAYa BREGGOVSKAYa DIFRAKCIYa I INTERFERENCIONNYE EFFEKTY V 3D FOTONNOKRISTALLIChESKIH PLENKAH Arhivovano 4 bereznya 2016 u Wayback Machine Zhurnal NIU ITMO Nanosistemy fizika himiya matematika 2 11 UDK 538 958 a b Photonic Crystals Periodic Surprises in Electromagnetism Arhiv originalu za 22 travnya 2011 Procitovano 29 sichnya 2017 CNews Fotonnye kristally pervymi izobreli babochki Arhiv originalu za 31 bereznya 2014 Procitovano 11 travnya 2019 S Kinoshita S Yoshioka and K Kawagoe Mechanisms of structural colour in the Morpho butterfly cooperation of regularity and irregularity in an iridescent scale Proc R Soc Lond B Vol 269 2002 pp 1417 1421 Arhiv originalu za 9 serpnya 2017 Procitovano 29 sichnya 2017 http ab initio mit edu wiki index php MPB Introduction Arhivovano 2 lyutogo 2017 u Wayback Machine Steven Johnson MPB manual Paket program dlya rozv yazuvannya fizichnih zadach Arhiv originalu za 9 lyutogo 2017 Procitovano 29 sichnya 2017 http optics synopsys com rsoft rsoft passive device fullwave html Arhivovano 2 lyutogo 2017 u Wayback Machine Paket program dlya rozv yazuvannya elektrodinamichnih zadach RSOFT Fullwave Programnij paket dlya rozrahunku zonnih diagram fotonnih kristaliv MIT Photonic Bands Arhiv originalu za 2 lyutogo 2017 Procitovano 29 sichnya 2017 Paket program dlya rozrahunku zonnih diagram fotonnih kristaliv RSOFT BandSolve Arhiv originalu za 3 lyutogo 2017 Procitovano 29 sichnya 2017 A Reisinger Characteristics of optical guided modes in lossy waveguides Appl Opt Vol 12 1073 p 1015 M H Eghlidi K Mehrany and B Rashidian Improved differential transfer matrix method for inhomogeneous one dimensional photonic crystals J Opt Soc Am B Vol 23 No 7 2006 pp 1451 1459 Programa Translight rozrobniki Andrew L Reynolds the Photonic Band Gap Materials Research Group within the Optoelectronics Research Group of the Department of Electronics and Electrical Engineering the University of Glasgow and the initial program originators from Imperial College London Professor J B Pendry Professor P M Bell Dr A J Ward and Dr L Martin Moreno Matlab yazyk tehnicheskih raschyotov Arhiv originalu za 23 grudnya 2010 Procitovano 29 sichnya 2017 A Pucci M Bernabo P Elvati L I Meza F Galembeck C A de P Leite N Tirelli and G Ruggeriab Photoinduced formation of gold nanoparticles into vinyl alcohol based polymers J Mater Chem Vol 16 2006 pp 1058 1066 A Reinholdt R Detemple A L Stepanov T E Weirich and U Kreibig Novel nanoparticle matter ZrN nanoparticles Applied Physics B Lasers and Optics Vol 77 2003 pp 681 686 nedostupne posilannya z travnya 2019 L Maedler W J Stark and S E Pratsinisa Simultaneous deposition of Au nanoparticles during flame synthesis of TiO2 and SiO2 J Mater Res Vol 18 No 1 2003 pp 115 120 nedostupne posilannya K K Akurati R Dittmann A Vital U Klotz P Hug T Graule and M Winterer Silica based composite and mixed oxide nanoparticles from atmospheric pressure flame synthesis Journal of Nanoparticle Research Vol 8 2006 pp 379 393 nedostupne posilannya z listopadaa 2019 str 252 P N Prasad Nanophotonics John Wiley and Sons 2004 A P Hynninen J H J Thijssen E C M Vermolen M Dijkstra and A van Blaaderen Self assembly route for photonic crystals with a bandgap in the visible region Nature Materials 6 2007 pp 202 205 X Ma W Shi Z Yan and B Shen Fabrication of silica zinc oxide core shell colloidal photonic crystals Applied Physics B Lasers and Optics Vol 88 2007 pp 245 248 nedostupne posilannya z listopadaa 2019 S H Park and Y Xia Assembly of Mesoscale Particles over Large Areas and Its Application in Fabricating Tunable Optical Filters Langmuir Vol 23 1999 pp 266 273 nedostupne posilannya z lipnya 2019 S H Park B Gates Y Xia A Three Dimensional Photonic Crystal Operating in the Visible Region Advanced Materials 1999 Vol 11 pp 466 469 nedostupne posilannya z travnya 2019 str 252 P N Prasad Nanophotonics John Wiley and Sons 2004 Y A Vlasov X Z Bo J C Sturm and D J Norris On chip natural assembly of silicon photonic bandgap crystals Nature Vol 414 No 6861 p 289 a b str 254 P N Prasad Nanophotonics John Wiley and Sons 2004 Virtual cleanroom Georgia Institute of Technology Arhiv originalu za 23 grudnya 2016 Procitovano 29 sichnya 2017 A Jugessur P Pottier and R De La Rue Engineering the filter response of photonic crystal microcavity filters Optics Express Vol 12 No 7 2005 pp 1304 1312 Arhiv originalu za 2 chervnya 2004 Procitovano 29 sichnya 2017 S Khizroev A Lavrenov N Amos R Chomko and D Litvinov Focused Ion Beam as a Nanofabrication Tool for Rapid Prototyping of Nanomagnetic Devices Microsc Microanal 12 Supp 2 2006 pp 128 129 Nanofabrication and rapid prototyping with DialBeam instruments FEI Company Arhiv originalu za 22 chervnya 2015 Procitovano 29 sichnya 2017 Y Fu N Kok A Bryan and O N Shing Integrated Micro Cylindrical Lens with Laser Diode for Single Mode Fiber Coupling IEEE Photonics Technology Letters Vol 12 No 9 2000 pp 1213 1215 Arhiv originalu za 24 travnya 2006 Procitovano 29 sichnya 2017 S Matsui and Y Ochiai Focused ion beam applications to solid state devices Nanotechnology Vol 7 1996 pp 247 258 M W Phaneuf Applications Fun and Practical of FIB Nano Deposition and Nano Machining Microsc Microanal 8 Suppl 2 2002 pp 568CD 569CD str 257 P N Prasad Nanophotonics John Wiley and Sons 2004 G Q Liang W D Mao Y Y Pu H Zou H Z Wang and Z H Zeng Fabrication of two dimensional coupled photonic crystal resonator arrays by holographic lithography nedostupne posilannya z travnya 2019 Appl Phys Lett Vol 89 2006 p 041902 M Duneau F Delyon and M Audier Holographic method for a direct growth of three dimensional photonic crystals by chemical vapor deposition nedostupne posilannya z travnya 2019 Journal of Applied Physics Vol 96 No 5 2004 pp 2428 2436 B H Cumpston S P Ananthavel S Barlow D L Dyer J E Ehrlich L L Erskine A A Heikal S M Kuebler I Y S Lee D McCord Maughon J Qin H Roeckel M Rumi X L Wu S R Marder and J W Perry Two photon polymerization initiators for three dimensional optical data storage and microfabrication Nature Vol 398 No 6722 1999 pp 51 54 S Jeon V Malyarchuk and J A Rogers Fabricating three dimensional nanostructures using two photon lithography in a single exposure step Optics Express Vol 14 No 6 2006 pp 2300 2308 Arhiv originalu za 14 chervnya 2010 Procitovano 29 sichnya 2017 http www azonano com details asp ArticleID 1208 Arhivovano 25 lipnya 2008 u Wayback Machine Stattya pro litografiyu za dopomogoyu elektronnogo puchka na sajti Azonano A S Gozdz P S D Lin A Scherer and S F Lee Fast direct e beam lithographic fabrication of first order gratings for 1 3mm DFB lasers IEEE Electronics Letters Vol 24 No 2 1988 pp 123 125 str 256 P N Prasad Nanophotonics John Wiley and Sons 2004 Storinka ob yednannya INEX z opisom parametriv ustanovki dlya litografiyi za dopomogoyu puchka elektroniv Arhiv originalu za 28 lipnya 2007 Procitovano 29 sichnya 2017 str 277 J Orloff M Utlaut and Lynwood Swanson High resolution focused ion beams FIB and its applications Kluwer Academic 2003 K Arshak M Mihov A Arshak D McDonagh and D Sutton Focused Ion Beam Lithography Overview and New aproaches Proc 24th International Conference on Microelectronics MIEL 2004 Vol 2 2004 pp 459 462 K Arshak M Mihov A Arshak D McDonagh D Sutton and S B Newcomb Negative resist image by dry etching as a surface imaging process using focused ion beams J Vac Sci Technol B Vol 22 No 1 2004 pp 189 195 nedostupne posilannya z travnya 2019 Otrimano z https uk wikipedia org w index php title Fotonnij kristal amp oldid 38358724